故障五：P、S稳定性不好，检查真空泵是否被误关掉，真空光路镜片是否需要清洗，一个维护不好的光路会导致错误的重现性和分析结果。

处理办法：检查真空泵及清洗镜片。

故障六：真空值下降快故障。

处理办法：看真空值曲线是否平缓，否则，有漏气的地方，检查真空室真空盖密封性，更换密封圈或对角紧固螺丝。

故障七：光强值下降。原因分析：①透镜脏；②入射狭缝污染；③光纤老化 

处理办法：擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤。经验总结：光谱仪用久了，激发台会因点打的太多了，出现放电漏气现象，导致光强上不去，需要经常清理激发台板及火花室。

故障八：数据不稳定。

处理方法：清洗镜片后重新做标准化，仪器镜片的污染会导致数据测试的结果不稳定，长时间没有做仪器的曲线校准也会导致数据测试稳定性不好。